| 发明名称 |
METALLIC IMPURITY REDUCING METHOD FOR OZONE GAS PIPING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09208202(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960331654 |
申请日期 |
1996.11.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO PRECISION PROD CO LTD |
发明人 |
NAKATSUKA TAKESHI;MUKAI SHIRO;KOBAYASHI JIRO;NAKAMOTO YASUJI |
| 分类号 |
C01B13/11;C23F15/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01T23/00;(IPC1-7):C01B13/11 |
主分类号 |
C01B13/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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