| 发明名称 |
DISK SUBSTRATE WASHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09206705(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960021464 |
申请日期 |
1996.02.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM CORP |
发明人 |
TODA HISASHI;KASHIWABASHI MASASHI |
| 分类号 |
B08B1/04;G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):B08B1/04 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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