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发明名称 SOLID PHASE RECRYSTALLIZATION FURNACE AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL BY SOLID PHASE RECRYSTALLIZATION
摘要
申请公布号 JPH09208359(A) 申请公布日期 1997.08.12
申请号 JP19960019815 申请日期 1996.02.06
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAMOTO KEIJI
分类号 C30B1/06;C30B29/52;C30B35/00;(IPC1-7):C30B1/06 主分类号 C30B1/06
代理机构 代理人
主权项
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