| 发明名称 |
MOJUURAHANDOTAIUEEHAISOOYOBISHORISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2639459(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.13 |
| 申请号 |
JP19870502482 |
申请日期 |
1987.04.06 |
| 申请人 |
BARIAN ASOSHEITSU INC |
发明人 |
SUTAAKU ROORENSU AARU;TAANAA FUREDERITSUKU |
| 分类号 |
B65G1/06;B65G47/91;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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