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发明名称 Plasma Lichtquelle
摘要
申请公布号 DE69401900(T2) 申请公布日期 1997.08.07
申请号 DE19946001900T 申请日期 1994.10.18
申请人 AEA TECHNOLOGY PLC, DIDCOT, OXFORDSHIRE, GB 发明人 OSBORNE, MICHAEL ROBERT;BAYLISS, KEITH HOWARD, BRIDGNORTH, SHROPSHIRE, GB
分类号 H05H1/24;H01J65/04;H01P1/17;H01S3/0975;(IPC1-7):H01J65/04;H01S3/097 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
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