| 发明名称 |
Apparatus and method for plasma processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1232297(A) |
申请公布日期 |
1997.08.07 |
| 申请号 |
AU19970012322 |
申请日期 |
1997.01.24 |
| 申请人 |
BECTON DICKINSON AND COMPANY |
发明人 |
DAVID ALAN MARTIN |
| 分类号 |
A61B5/15;B05D3/14;B05D7/22;B05D7/24;B32B9/00;C23C14/10;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/515 |
主分类号 |
A61B5/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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