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发明名称 Ätzvorrichtung und Verfahren zu deren Anwendung
摘要
申请公布号 DE68927870(T2) 申请公布日期 1997.08.07
申请号 DE19896027870T 申请日期 1989.11.10
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SATO, MITSUO C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV. K.K.,;FUJIWARA, TAKASHI C/O INTELL. PROP. DIV. K. K, MIN;YOSHIKAWA, KIYOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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