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发明名称 Ionenimplantierungsgerät mit verringertem Weg
摘要
申请公布号 DE69216660(T2) 申请公布日期 1997.08.07
申请号 DE19926016660T 申请日期 1992.02.14
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 DYKSTRA, JERALD PAUL, AUSTIN, TEXAS 78731, US;RAY, ANDREW MARLOW, AUSTIN, TEXAS 78759, US;KING, MONROE LEE, AUSTIN, TEXAS 78753, US
分类号 H01J37/12;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
主权项
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