发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2639052(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19890028343 申请日期 1989.02.07
申请人 FUJITSU KK 发明人 TERADA SHIGERU;SHINDO JUNJI;IKEDA MASANORI;SASAKI MASASHI
分类号 H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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