| 发明名称 |
Differential virtual ground beam blanker |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0613169(B1) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
EP19940102829 |
申请日期 |
1994.02.24 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
GESLEY, MARK A.;COLBY, DAVID H. |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/09;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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