| 发明名称 |
Novel amide- or imide-introduced copolymer preparation thereof and a photoresist comprising the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9711806(D0) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
GB19970011806 |
申请日期 |
1997.06.06 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/038;C08F220/54;C08F222/40;C08F232/00;C08F232/04;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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