发明名称 BISAIHAISENKEISEISOCHI
摘要
申请公布号 JP2638447(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19930292319 申请日期 1993.11.24
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OOSHITA YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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