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发明名称 UEHAHANDORAA
摘要
申请公布号 JP2638623(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19880234461 申请日期 1988.09.19
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 OOSAWA SATORU
分类号 B25J9/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J9/00
代理机构 代理人
主权项
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