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发明名称 AUTOMATED PHOTOMASK INSPECTION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0787289(A1) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 EP19950927142 申请日期 1995.07.11
申请人 KLA INSTRUMENTS CORPORATION 发明人 EMERY, DAVID, GARTH;SAIDIN, ZAIN, KAHUNA;WIHL, MARK, J.;FU, TAO-YI;ZYWNO, MAREK;KVAMME, DAMON, F.;FEIN, MICHAEL, E.
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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