一种采用CCD摄像机的曝光系统的准直装置

摘要

一种采用了CCD摄像机的曝光系统的准直装置。该装置包括多个光学准直系统，一个屏，一个棱镜，一个成像透镜，一个CCD摄像机，一个图像处理器，一个信息显示器，一个平台控制器，准直装置通过改变从多个光学准直系统发射的准直光束的放大率来对工件精确地定位。这是经过棱镜传递光束，经变焦透镜并传递到形成图像的单个CCD摄像机来实现的。

主权项

1、用于曝光系统的准直装置，包括：多个光学准直系统，每个准直系统产生经过一个光路的准直光，并且该准直光对应于形成于工件上的准直刻线；一个棱镜，有多个反射面，反射多束准直光束并在屏上产生准直光束；一个屏，有一个基准刻线形成其上，基准刻线对应于工件的准直位置；一个成像透镜，由穿过屏的准直光束形成图像，所形成的图像对应于基准刻线和准直刻线；一个CCD摄像机，把入射并穿过成像透镜的准直光束转换成相应的图像信息并产生一个图像信号；一个图像处理器，在根据CCD摄像机产生的图像信息计算了基准刻线和准直刻线之间的差别后，产生一个对应于工件位置变化的位置信号；一个信息显示器，显示相应于图像处理器产生的图像信号的信息；和一个平台控制器，根据图像处理器产生的位置信号来移动有工件放置在其上的平台。