| 发明名称 |
ZETSUENTAIJOHANDOTAISHUSEKIKAIROKOZOOSEIZOSURUHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2638004(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
JP19870293903 |
申请日期 |
1987.11.20 |
| 申请人 |
TEKISASU INSUTORUMENTSU INC |
发明人 |
MISHERU MATSUTOROBIAN |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/762;H01L21/84;H01L21/86;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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