发明名称 UEHAJOBUTSUPINOYUSOSHITESUKUNAKUTOMOHITOTSUNOSHORIKOTEINIKAKERUTAMENOSOCHIOYOBIHOHO
摘要
申请公布号 JP2637730(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19870083696 申请日期 1987.04.04
申请人 MATEIARIARUZU RISAACHI CORP 发明人 SUTEIIBUN DEII HAAUITSUTO;MIROSURABU ERAA;RICHAADO II BIIRU
分类号 H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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