发明名称 EKIMENREBERUSENSAOYOBISONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2638979(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19880207860 申请日期 1988.08.22
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK 发明人 KOSHIMURA MASAMI;MATSUSHIMA HIDENAO;KAMYAMA MAMORU;ONO MIKYA
分类号 H01L39/00;G01F23/22;H01B12/06;H01B13/00;(IPC1-7):H01L39/00 主分类号 H01L39/00
代理机构 代理人
主权项
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