发明名称 HANDOTAIKIBANNOSENJOHOHO
摘要
申请公布号 JP2639008(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19880269016 申请日期 1988.10.25
申请人 FUJITSU KK 发明人 TAKIZAWA RITSUO
分类号 B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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