| 发明名称 |
TANKETSUSHOSEICHOHOHOOYOBISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2637210(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
JP19880331591 |
申请日期 |
1988.12.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KAGAKU KK |
发明人 |
ORITO FUMIO;KAWABATA SHINICHIRO;KATANO CHIKU;HIGUCHI JUSAKU;YAJIMA FUMIKAZU |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B27/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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