| 发明名称 |
HODENSHITSURYOBUNSEKISOCHINOHODENYODENKYOKUCHOSEIHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2637000(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
JP19910352011 |
申请日期 |
1991.12.13 |
| 申请人 |
SHINETSU KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
YAMAGUCHI HIDENAO;MAEDA KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01N27/62;H01J9/14;H01J49/04;H01J49/12;(IPC1-7):H01J49/12 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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