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发明名称 DEPOSITION OF TEOS FILM
摘要
申请公布号 JPH09205089(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960011309 申请日期 1996.01.25
申请人 SONY CORP 发明人 KURIHARA HISAAKI
分类号 H01L21/768;H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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