发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09205105(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960010465 申请日期 1996.01.24
申请人 ROHM CO LTD 发明人 IMAI HIROSHI;YAMAMOTO MASAO
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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