| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR FABRICATING ELECTRONIC DEVICE AND DEPOSITING TITANIUM NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09205094(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960031337 |
申请日期 |
1996.01.25 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SEKIGUCHI ATSUSHI;JINBA HITOSHI;KIN ZUIGEN;YOSHIMURA TAKANORI;MIZUNO SHIGERU;WATANABE KAZUTO;TAGAMI MANABU |
| 分类号 |
C23C16/34;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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