| 发明名称 |
OPEN/CLOSE MECHANISM FOR CHAMBER IN ION IMPLANTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09205067(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960012144 |
申请日期 |
1996.01.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OHASHI SEIJI;SONO TAKESHI |
| 分类号 |
C23C14/48;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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