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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH09205077(A)
申请公布日期
1997.08.05
申请号
JP19960009729
申请日期
1996.01.24
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YAMANAKA MICHINARI;NAKAGAWA HIDEO
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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