| 发明名称 |
PATTERNING METHOD BY CHARGED BEAM PROCESSING AND CHARGED BEAM PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09205079(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960011340 |
申请日期 |
1996.01.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AZUMA JUNZO;SHIMASE AKIRA;HAMAMURA YUICHI;KOIKE HIDEMI |
| 分类号 |
H01J37/305;C23C16/26;H01J37/18;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
