| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND THIN FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09202960(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960033027 |
申请日期 |
1996.01.26 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIKAMI TAKASHI;NISHIYAMA SATORU |
| 分类号 |
C30B29/10;C23C14/06;C23C14/24;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C30B29/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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