| 发明名称 |
FOCUSING ION BEAM WORKING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09204897(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960266089 |
申请日期 |
1996.10.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ITO FUMIKAZU;HARAICHI SATOSHI;SHIMASE AKIRA;TAKAHASHI TAKAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01J37/256;H01J37/28;H01J37/305;H01J37/31;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/31;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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