| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09205065(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960308841 |
申请日期 |
1996.11.20 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
NAMITA HIROMITSU;TATSUMI TORU;KASAI NAOKI;MORI HIDEMITSU;KOGA HIROTAKA |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
