发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09205145(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960336534 申请日期 1996.12.17
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON INC 发明人 FUUTAI RIYOU;MEEDEI ZAMANIAN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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