| 发明名称 |
PROCEDE DE TRANSFERT D'UNE COUCHE MINCE D'UN SUBSTRAT INITIAL SUR UN SUBSTRAT FINAL |
| 摘要 |
Procédé de transfert d'une couche mince d'un substrat initial sur un substrat final.<BR/>Ce procédé se caractérise en ce qu'il comporte les étapes successives suivantes:<BR/>- solidarisation de la couche mince (112) sur un substrat poignée (120) comprenant une zone de clivage,<BR/>- élimination du substrat initial,<BR/>- solidarisation de la couche mince (112) avec un substrat final (132),<BR/>- clivage du substrat poignée (120) selon la zone de clivage.<BR/>L'invention trouve notamment des applications dans la fabrication de structures tridimensionnelles de circuits intégrés.
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| 申请公布号 |
FR2744285(A1) |
申请公布日期 |
1997.08.01 |
| 申请号 |
FR19960000852 |
申请日期 |
1996.01.25 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BIASSE BEATRICE;BRUEL MICHEL;ZUSSY MARC |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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