Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Feldemissionsspitzen vorgeschlagen, bei dem in einem isolierenden Material (1) eine Vielzahl von Löchern (2) erzeugt werden und anschliessend mit einem Metall aufgefüllt werden. Es werden so metallische Körper (3) gebildet, die aufgrund des geringen Durchmessers der Löcher (2) die Feldemissionsspitzen bilden. Die Löcher (2) weisen typischerweise einen Durchmesser von einigen Nanometern bis einigen zehn Nanometern auf.
申请公布号
WO9727607(A1)
申请公布日期
1997.07.31
申请号
WO1996DE02246
申请日期
1996.11.22
申请人
ROBERT BOSCH GMBH;GROTHE, WOLFGANG;GRUENWALD, WERNER;REINHART, KARL-FRANZ;DORFMUELLER, LUTZ