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发明名称 PART MOUNTING APPARATUS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09199545(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960009102 申请日期 1996.01.23
申请人 NEC CORP 发明人 KUBOTA HIROYA
分类号 H01L21/60;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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