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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09199444(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960008317 申请日期 1996.01.22
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 ARAI TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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