| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09199590(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960008215 |
申请日期 |
1996.01.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SUNADA TAKESHI;MAEDA SHIGERU |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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