| 发明名称 |
PRODUCTION OF MINUTE CHIP FOR DETECTING TUNNEL CURRENT OR MINUTE FORCE, MINUTE CHIP, AND PRODUCTION OF PROBE HAVING MINUTE CHIP AND PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09196934(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960025910 |
申请日期 |
1996.01.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIMADA YASUHIRO;IKEDA TSUTOMU;YAGI TAKAYUKI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/16;G01Q60/38;G02B21/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L21/306;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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