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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09197005(A)
申请公布日期
1997.07.31
申请号
JP19960008089
申请日期
1996.01.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HAMADA KOHEI
分类号
G01R31/26;H01L23/50;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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