发明名称 THIN FILM ELECTRODE FOR SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT AND ITS FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09199968(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960006964 申请日期 1996.01.19
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 NAKANISHI HIDEFUMI;SAKURAI ATSUSHI;KOBAYASHI MASATO;YOSHINO YUKIO
分类号 C30B23/08;C30B29/02;C30B29/52;H01L41/09;H03H3/08;H03H9/145;(IPC1-7):H03H3/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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