发明名称 |
THIN FILM ELECTRODE FOR SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT AND ITS FORMING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09199968(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
申请号 |
JP19960006964 |
申请日期 |
1996.01.19 |
申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
NAKANISHI HIDEFUMI;SAKURAI ATSUSHI;KOBAYASHI MASATO;YOSHINO YUKIO |
分类号 |
C30B23/08;C30B29/02;C30B29/52;H01L41/09;H03H3/08;H03H9/145;(IPC1-7):H03H3/08 |
主分类号 |
C30B23/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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