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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09199476(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960009125 申请日期 1996.01.23
申请人 NEC CORP 发明人 KAKIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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