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发明名称 OXIDATION SIMULATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH09199492(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960025768 申请日期 1996.01.19
申请人 NEC CORP 发明人 KUMASHIRO SHIGETAKA
分类号 H01L21/66;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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