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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH09199616(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960005895 申请日期 1996.01.17
申请人 NEC CORP 发明人 TAKESHIRO SHINICHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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