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发明名称 NARROW-FREQUENCY-BAND EXCIMER LASER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09199780(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960004824 申请日期 1996.01.16
申请人 NEC CORP 发明人 ITO SHINJI
分类号 H01S3/134;H01S3/137;(IPC1-7):H01S3/134 主分类号 H01S3/134
代理机构 代理人
主权项
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