| 发明名称 |
PROCESSO DE PRODUCAO DE PELICULA DE ALUMINIO, DEPOSITADA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PT95433(B) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
PT19900095433 |
申请日期 |
1990.09.26 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NOBUO MIKOSHIBA;KAZUO TSUBOUCHI;KAZUYA MASU |
| 分类号 |
C23C16/20;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20;C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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