| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR CONTINUOUS FORMATION OF FUNCTIONAL DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09199430(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960023197 |
申请日期 |
1996.01.17 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OKABE SHOTARO;SAKAI AKIRA;YOSHISATO SUNAO;KODA YUZO;NISHIMOTO TOMONORI;YAJIMA TAKAHIRO;FUJIOKA YASUSHI;KANAI MASAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54;G05F5/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L31/04 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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