发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09199716(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960005424 申请日期 1996.01.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 KACHI TAKESHI;KAGA TORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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