| 发明名称 |
INSPECTING METHOD OF SEMICONDUCTOR SURFACE DEFECT AND ITS AUTOMATIC INSPECTING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09199560(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960023248 |
申请日期 |
1996.01.16 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
AKATSUKA MASANORI;SUEOKA KOJI;YAMAMOTO TOSHIRO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;H04N7/18;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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