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发明名称 WIRING PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH09199589(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960006541 申请日期 1996.01.18
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO MICHIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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