| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR HEAT TREATMENT AND EQUIPMENT USED FOR THE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09199436(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960005213 |
申请日期 |
1996.01.16 |
| 申请人 |
DAIDO HOXAN INC |
发明人 |
YOSHINO AKIRA;OMORI NOBUNORI;KIYAMA HIROMI;OKU HIDEHIKO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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