发明名称 Controlled cryopump regeneration pressures
摘要
申请公布号 GB9711344(D0) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 GB19970011344 申请日期 1995.12.21
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORPORATION 发明人
分类号 F04B37/08;F04B37/16 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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